Консультант:
+7(7232) 26 44 09
с 10:00 до 19:00 в раб. дни
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие. Гриф УМО вузов России

Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие. Гриф УМО вузов России

Автор: Гаврилов Сергей Александрович

Рейтинг:
(0)

Раздел: Учебники: доп. пособия

Издательство: Инфра-М, РИОР
ISBN: 978-5-369-01299-4
Год: 2014

Переплет: твердый переплет
Страниц: 240
Язык: русский
Тираж: 700 экз.
Формат: 60x90/16 (145x215 мм)

4 330 тг.

Количество

Поступление на склад 29.12.2016
Поделиться:

Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время.В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии, процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применение в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.Предназначено для студентов, аспирантов, научных работников и инженеров.

  • Комментарии
Загрузка комментариев...

Похожие товары:

  • Введение в информатику
    1 710 тг.
    Поступление на склад 29.12.2016
0 Корзина
Стоимость
заказа: 0 тг.
Перейти в корзину для оформления заказа
0
Закладки
Посмотреть