Консультант:
+7(7232) 26 44 09
с 10:00 до 19:00 в раб. дни
Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

Автор: Громов Д.Г.

Рейтинг:
(0)

Раздел: Учебники: доп. пособия

ISBN: 978-5-94774-904-5
Год: 2014

Переплет: твердый переплет
Страниц: 277
Язык: русский
Формат: 60x90/16 (145x215 мм)

2 380 тг.

Количество

Поступление на склад 28.12.2016
Поделиться:

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

  • Комментарии
Загрузка комментариев...

Похожие товары:

  • Гидромеханика
    4 375 тг.
    Поступление на склад 28.12.2016
0 Корзина
Стоимость
заказа: 0 тг.
Перейти в корзину для оформления заказа
0
Закладки
Посмотреть