Консультант:
+7(7232) 26 44 09
с 10:00 до 19:00 в раб. дни
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. Справочное пособие

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. Справочное пособие

Автор: Берлин Евгений Владимирович

Рейтинг:
(0)

Раздел: Учебники: доп. пособия

Издательство: Техносфера
ISBN: 978-5-94836-369-1
Год: 2014

Переплет: твердый переплет
Страниц: 256
Язык: русский
Тираж: 750 экз.
Формат: 70x100/16 (170x240 мм)

4 475 тг.

Количество

Поступление на склад 29.12.2016
Поделиться:

Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография.Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок.Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава.Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления.Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

  • Комментарии
Загрузка комментариев...

Похожие товары:

  • Почувствуй класс
    5 895 тг.
    Поступление на склад 29.12.2016
0 Корзина
Стоимость
заказа: 0 тг.
Перейти в корзину для оформления заказа
0
Закладки
Посмотреть