Консультант:
+7(7232) 26 44 09
с 10:00 до 19:00 в раб. дни
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Автор: Галперин В.А.

Рейтинг:
(0)

Раздел: Материаловедение. Нанотехнологии

ISBN: 978-5-9963-0032-7
Год: 2010

Переплет: твердый переплет
Страниц: 283
Язык: русский
Формат: 60x90/16 (145x215 мм)

2 705 тг.

Количество

Поступление на склад 29.12.2016
Поделиться:

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

  • Комментарии
Загрузка комментариев...

Похожие товары:

0 Корзина
Стоимость
заказа: 0 тг.
Перейти в корзину для оформления заказа
0
Закладки
Посмотреть