Консультант:
+7(7232) 26 44 09
с 10:00 до 19:00 в раб. дни
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное пособие для вузов. Том 2

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное пособие для вузов. Том 2

Автор: Акуленок М.В.

Рейтинг:
(0)

Раздел: Материаловедение. Нанотехнологии

ISBN: 978-5-9963-0336-6
Год: 2011

Переплет: твердый переплет
Страниц: 252
Язык: русский
Формат: 60x90/16 (145x215 мм)

2 485 тг.

Количество

Поступление на склад 29.12.2016
Поделиться:

Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и «сухого» травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии.Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники, микроэлектромеханических систем, физики твердого тела, материаловедения. Книга может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих областей.

  • Комментарии
Загрузка комментариев...

Похожие товары:

0 Корзина
Стоимость
заказа: 0 тг.
Перейти в корзину для оформления заказа
0
Закладки
Посмотреть